Protec
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시간당 최대 120 개의 웨이퍼 및 / 또는 T-ESC® 패키지를 갖춘 완전 자동화 된 정전 척킹 / 디 척킹 유닛으로 취급시 최고의 수율과 많은 진단 기능을 보장합니다.
ProTec®은 다양한 고전압 전원 공급 장치를 제공하며, 저희 고전압 측정 컨트롤러 (HV MC)는 처킹 작업 전용입니다.
