T-ESC®

디스플레이/유리

ProTec®이 제공하는 ESC 및 T-ESC® 기술은 새로운 장비뿐만 아니라 기존의 장비에서도 부담이 큰 프로세싱에 대한 솔루션을 제공하며, 이를 통해 장비 보유 비용을 개선하고 이미 보유한 라인에 표준 장비에 대한 박형 글래스 코팅과 같은 새로운 공정을 쉽게 통합할 수 있습니다. 인라인 및 클러스터 기반 프로세싱 도구를 위한 깨지기 쉬운 기판을 생성할 수 있어 높은 수율을 얻습니다.

 

저희 정전 시스템은 특히 고객의 필요에 따라 설계되었습니다. 예: 이송 정전 캐리어에 대한 다중 글래스 처킹(3D 유형 포함)과 이들을 인라인 플라즈마 코팅 과정 또는 온도 통제 OLED 증착 동안 가이드

 

당사 기계

Maschine Protec ACU 3000

ACU 3000

시간당 최대 120 개의 웨이퍼 및 / 또는 T-ESC® 패키지를 갖춘 완전 자동화 된 정전 척킹 / 디 척킹 유닛으로 취급시 최고의 수율과 많은 진단 기능을 보장합니다.

MCU 3000 freigestellt

MCU 3000

캐리어 T-ESC®의 얇은 초박형 기판의 수동 척킹 / 디 척킹 장치로 유연한 모바일 처리 도구 및 진단 기능을 갖춘 4”/ 6”~ 8”/ 12”의 유연한 크기를 제공합니다.