정전 척 또는 이동형 캐리어 중 어떤 것을 사용해야 하나요?

정전 척의 경우에는 적절한 고전압 전원 공급이 필요합니다.이동형 정전 캐리어, T-ESC®를 위해서는 수동 또는 자동화 처킹 유닛을 사용합니다.

 

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