机械部分

MCU 3000

此外,还包括手动对准功能,可供操作员使用。 MCU 3000 配有用于操作的触摸屏和用于进行夹持和分离的持取装置。 手动夹持装置(MCU 3000)用于临时将器件晶圆与我们的 T-ESC® 接合和分离。它适用于低产量或研发生产,经过培训的操作员每小时可以接合和分离 15-25 个晶圆。
MCU 3000 配有用于操作的触摸屏和用于进行夹持和分离的持取装置。 此外,还包括手动对准功能,可供操作员使用。 顺便指出,我们理所当然地确保为您的操作员提供特殊培训和支持。 晶圆尺寸的变化可在 10 分钟内快速可靠地完成。 MCU 3000 有三种标准尺寸,但也可提供定制版本。

MCU 3000

典型应用

  • 三种基本尺寸可供选择: 3”/4”/6”, 6”/8”和 8”/12”,以及按需定制版本

  • 装置顶部的工作板确定基板尺寸。 通过更换工作板实现从一种尺寸升级到另一种尺寸,从而改变尺寸。

  • 增强的分离功能

  • 夹持电压可编程,最高 3kV,高灵敏度电流测量。

  • 增强型 SIEMENS PLC S7/200 控制器包含 GUI 和多种(自诊断)功能。

  • LCD 触摸屏面板包括可选择的屏幕显示器,用于显示电压、电流和状态信息、客户的夹持类型设置和工艺条件等。

  • 参数配置设定存储在定制数据中,记录每种夹具类型。

  • 场务要求: 电源, N2CDA/ 压缩空气),真空

  • 机器尺寸: 621 x 430 x 330 mm 长 x 宽 x 宽:

  • 重量: 20 千克

 

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技術數據

三种基本尺寸可供选择:

3”/4”/6”, 6”/8”和 8”/12”

场务要求:

电源, N2(CDA/ 压缩空气),真空

机器尺寸:

长 x 宽 x 宽:
621 x 430 x 330 mm

重量:

20 千克