静电固持与真空固持有什么区别?

静电力在电极表面上是均匀的,而真空力在通道或孔的位置最活跃。

这就是与真空相比,静电力对基板更不会产生应力的原因,超薄和敏感基板尤其如此。

与静电力相比,真空力要大得多,因此更容易提升较重的物体。

静电夹盘或载体可以在真空环境中使用,而真空夹盘不可能实现这一点。