可移动静电载体(T-ESC®)是否能够重复充电?

是的,可在 ACU 3000 或 MCU 3000 上完成充电。

根据存储的电量,在苛刻工艺之前或在工艺步骤之后,当后续步骤需要充满电的可移动静电载体时,充电是有意义的。